Простая технология позволила создать самый быстрый гибкий транзистор
Неповторимый способ, созданный в Висконсинском университете (UW-Madison), разрешит производителям скоро и дёшево изготавливать высокопроизводительные транзисторы в рулонах пластика.
Экспериментальное устройство, напечатанное с помощью техники, так называемой, наноимпринт-литографии, функционировало с рекордной частотой 38 ГГц, а результаты симуляций говорят о возможности повышения рабочей частоты до 110 ГГц.
Кроме возможностей применения в сверхбыстродействующих процессорах, такие устройства смогут передавать и приобретать эти и энергию беспроводным путём, что открывает совсем невиданные возможности для таких приложений, как носимая автономные сенсоры и электроника IoT.
Методика изготовления эластичных транзисторов описывается в статье, которая день назад вышла в издании Scientific Reports. Она свободна от недочётов классических литографических разработок: не имеет дифракционных ограничений, не испытывает недостаток в большой температуре и не требует разделения технологического процесса на пара этапов.
Схема создается в эластичной мембране кристаллического кремния, расположенной на подложке из термопластика — полиэтилентерефталата (ПЭТ). Вместо классического избирательного внесения примесей, авторы подвергают легированию целый слой кремния.
После этого, поверх него наносят слой фоторезиста и сфокусированным электронным лучом вырезают в нем необходимые формы, размером до 10 нм. С помощью взятой маски сухим травлениям в кремнии с высокой точностью создают канавки с затворами поверх них, действующими как коммутаторы.
Приобретаемый транзистор благодаря трёхмерной структуре перемещения зарядов потребляет меньше энергии и трудится более действенно, а высокая по сравнению с простыми производственными процессами детализация разрешает умещать на чипе большее количество таких устройств.
Авторы из UW-Madison утверждают, что их разработка легко масштабируется на сценарии массового производства и разрешает тиражировать структуру транзистора на рулонах эластичного пластика.
